【摘 要】
：
采用射频反应磁控溅射法在Si（111）基片上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,采用X线衍射（XRD）、X线光电子能谱（XPS）分析方法研究了退火对ZnO薄膜结构及缺陷的影响。结果表明,随着退火
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国电子科技集团公司第26研究所
论文部分内容阅读
采用射频反应磁控溅射法在Si（111）基片上制备了高度c轴择优取向的ZnO薄膜,采用X线衍射（XRD）、X线光电子能谱（XPS）分析方法研究了退火对ZnO薄膜结构及缺陷的影响。结果表明,随着退火温度的上升,薄膜的择优取向及取向一致性更好,晶化程度增高,晶粒尺寸变大。退火使更多的Zn间隙原子回到晶格位置,并弥补薄膜中氧的不足,且高温退火易引起氧的解析,三者相互作用使晶面间距随着退火温度的上升而逐渐变小,压应力变大,ZnO中的O含量逐渐减少,Zn/O的原子比逐渐接近于1。
其他文献
我国当前文化建设存在的种种困域，呼吁建设社会主义文化强国，推进社会主义文化大发展大繁荣。文化自觉是建设社会主义文化强国的根本途径。
为了满足声子晶体谐振频率测量要求，即测量出其振动形式且可连续测量，该文运用光外差测量技术测得光电信号，声子晶体激励采用压电激励方式。由于光电信号很微弱，故用自动增益控制
设计了一种用于液体运动粘度在线测量的声表面波传感器。利用液体对水平剪切模式声表面波(SH-SAW)传播性质的影响,推导得出液体的密度和动力粘度与SH-SAW的传播速度变化的数学关系式,从而实现液体运动粘度的检测,设计了相应的实验设备。通过实验数据与理论数据的比较证实了该设计的可行性。
介绍了一种基于声驻波原理研制的高频声光正弦调制器，分析了声驻波在晶体中形成的相位光栅的周期性变化特征，介绍了该高频声光正弦调制器的设计原理并对其性能进行了测试和分析
总结了声表面波（SAW）器件传统封装技术中存在的问题，提出了一种SAW器件新型晶圆级封装技术。采用一种有机物于膜，分别经两次压膜、曝光和显影完成了对SAW芯片在划片前的封装，并用
本文剖析了甘肃省企业集团及其中小型企业信息化发展的有关重点问题,甘肃省中小型企业信息化建设的基本情况,存在的主要问题与建设的框架内容。
报道了一种适用于高频压电器件的Co2O3改性Pb（Mn1/3Sb1/3）O3-PbTi O3（PT-PMS）基陶瓷。采用轧膜成型工艺制备了PT-PMS压电陶瓷,研究了加入Co2O3对陶瓷的介电、压电和机电性能的影
以Al2O3、Y2O3（质量比为2∶3）为烧结助剂,在氮气氛或氩气氛中、1 900~1 970℃3、0 MPa下热压制备SiC陶瓷。根据Archimedes原理测量烧结体的体积密度和显气孔率;采用XRD、SEM（EDS
本文在回顾我国农业税费改革历程的基础上，首先从理论上分析了农业税费改革对农业经济的影响，然后采用拓展的柯布一道格拉斯生产函数模型，利用农业税费制度改革前后15年31个省、
财产申报制度作为反腐败的一项重要举措，在许多国家都已经建立起来，是有效规范公务员行为的一项基本制度和国际惯例。目前我国尚未建立起完善的公务员财产申报制度，而且有关财产