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报道了用射频等离子体化学气相沉积方法制备非晶态碳膜的实验结果。在适当的沉积条件下,该膜非常硬。它具有许多接近于金刚石的令人感兴趣的性能。最后对对非晶态碳膜的应用前景进行了讨论。
非晶态碳膜的制备和性能
【摘 要】
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报道了用射频等离子体化学气相沉积方法制备非晶态碳膜的实验结果。在适当的沉积条件下,该膜非常硬。它具有许多接近于金刚石的令人感兴趣的性能。最后对对非晶态碳膜的应用
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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1990年4期
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