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采用热分解法制备钛基锡钌钴纳米涂层，并系统研究了工艺参数对涂层的结构与物化性能的影响。结果表明：1）随着温度的升高，涂层表面的裂纹宽度有所增加。在制备温度为600℃时，涂层析出钌单质。2）钌含量较低时，主要为锡基固溶体；钌含量较高时，主要为钌基固溶体。添加锡能细化涂层晶粒。涂层裂纹数在钌含量较低和较高时都较少。3）随着钴含量的增加，涂层晶粒变细，但钌锡固溶体也开始脱熔。添加较多的钴会导致钴的氧化物以黑色颗粒状脱落，并附带钌的氧化物脱落。4）钛基锡钌钴涂层阳极的最佳制备工艺初步为：制备温度500％；锡钌钴的