【摘 要】
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本文首先建立了扩散硅压力敏感器件的数学模型,进而讨论了一种可同时获得高精度宽温度范围的方法。所得结果与实验相符。
In this paper, the mathematical model of diffus
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本文首先建立了扩散硅压力敏感器件的数学模型,进而讨论了一种可同时获得高精度宽温度范围的方法。所得结果与实验相符。
In this paper, the mathematical model of diffused silicon pressure sensitive device is established first, and then a method of simultaneously obtaining high precision and wide temperature range is discussed. The results obtained agree with the experiment.
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