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根据非线性热传导方程,用有限差分方法计算金属中强束流离子注入的温升效应给出了温升和温度分布曲线,以及样品表面温度与离子能量、剂量率、靶座温度、样品厚度等的关系曲线还计算了脉冲注入和扫描注入时的温升过程
金属中强束流离子注入的温升效应
【摘 要】
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根据非线性热传导方程,用有限差分方法计算金属中强束流离子注入的温升效应给出了温升和温度分布曲线,以及样品表面温度与离子能量、剂量率、靶座温度、样品厚度等的关系曲线
【机 构】
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北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1993年3期
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