溶胶—凝胶法制备掺镧钛酸铋铁电薄膜

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：loveni978

【摘要】

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利用溶胶-凝胶法在Si(100)及Pt/Ti/Si(100)衬底上制备了Bi3.5La0.5Ti3O12(BLT-5)铁电薄膜，研究了在不同退火条件下BLT-5薄膜的结晶性能。经650℃、30 min退火处理的BLT-5铁电

【作者】

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喻驰朱建国肖定全袁小武朱基亮乐夕

【机构】

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四川大学材料科学系

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

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钛酸铋铁电薄膜溶胶-凝胶法掺镧 bismuthtitanate ferroelectricthinfilms Sol-Gelprocessing

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利用溶胶-凝胶法在Si(100)及Pt/Ti/Si(100)衬底上制备了Bi3.5La0.5Ti3O12(BLT-5)铁电薄膜，研究了在不同退火条件下BLT-5薄膜的结晶性能。经650℃、30 min退火处理的BLT-5铁电薄膜的矫顽场Ec=67 k V/cm，剩余极化强度Pr=11.2μC/cm2。BLT-5铁电薄膜呈现较好的抗疲劳特性，可望用于制备高容量铁电随机存取存储器。

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