自组织InAs/GaAs量子点的X射线双晶衍射研究

来源 :材料科学与工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tfjxy
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用X射线双晶衍射方法测定了自组织生长的InAs/GaAs量子点的摇摆曲线,根据Takagi-Taupin方程对曲线进行了拟合.在考虑量子点层晶格失配的情况下,理论曲线和实验曲线符合得很好,从而确定了量子点垂直样品表面的失配度,约为4~6%,这与宏观连续体弹性理论的预测相近.结合电镜、原子力显微镜的观察结果表明对子单层沉积方法获得的量子点层采用化合物构层进行拟合所得结果是合理的.
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