纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zqg860808

【摘要】

：

使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果

【作者】

：

梁建国王清月倪晓昌胡明列柴路贾威

【机构】

：

天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室

【出处】

：

纳米技术与精密工程

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

刻划衍射飞秒激光表面光参数微结构 PMMA 光栅线宽色散 femtosecond laser micromachining interferen

【基金项目】

：

教育部科学技术研究项目，中国博士后科学基金

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使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案.

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