High Hole Mobility of GaSb Relaxed Epilayer Grown on GaAs Substrate by MOCVD through Interfacial Mis

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fuwanyi

【摘要】

：

The structural property of GaSb epilayers grown on semi-insulator GaAs (001) substrate by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) using Triethylgallium (

【作者】

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Wei Zhou Xiang Li Sujing Xia J

【机构】

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StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices,DepartmentofElectronicandComputerEnginee

【出处】

：

材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

：

2012年2期

【关键词】

：

MOCVD生长 GAAS衬底失配位错锑化镓阵列国际货币基金组织半绝缘砷化镓化学气相沉积法 Interfacial misfit dislocatio

【基金项目】

：

supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.51071038and60576007),,Program for New Century Excellent Talents in University(NCET-09-0265),,the Sichuan Province Science Founda

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The structural property of GaSb epilayers grown on semi-insulator GaAs (001) substrate by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) using Triethylgallium (TEGa) and trimethylantimony (TMSb),was investigated by variation of the Sb:Ga (V/III) ratio.An

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