用于5~6GHz无线局域网的硅螺旋电感设计

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lvxinjj
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提出一种设计和优化电感版图结构的方法,采用低电阻系数硅衬底和0.18μm Cu/SiO2互连工艺技术,设计出一组工作在5.7GHz的电感,同时优化了版图结构,例如内部磁芯大小、线圈宽度、线圈间距(0.2~11nH)等,与使用原有设计方法测出的电感的Q值相比,经过优化的5.7GHz电感的Q值可改进到5~8。
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