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机械零件的光学超精密检测可提升零件的经济效益,为提升机械零件的光学超精密检测精度,研究基于人工智能技术的光学超精密检测技术,在机械零件的光学超精密检测中赋予人工智能机械学习模式,将机械记录的每次人为移动机械零件的动作和位置信息、光照强度等信息作为输入量进行机械计算,并将输出信息和输入量保存在存储器中。采用光学白光干涉测量和共聚焦测量技术,检测一次机械零件微米级以上宏观运动或微米级以下微观运动,根据检测光路光电探测器接收的光强大小获取检测零件各点的高度数值,在此基础上通过执行机械学习模式,在存储器中检