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传统切割工艺存在很多缺陷,文章介绍一种新型在线调晶检测切割装置及工艺,可以提高晶片的晶向精度、切片质量和成品率.通过碳化硅和碲锌镉晶体的切割比较新型切割装置及工艺相比较于传统切割工艺的优势,以及对未来材料加工的展望.
一种新型切割装置及工艺研究
【摘 要】
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传统切割工艺存在很多缺陷,文章介绍一种新型在线调晶检测切割装置及工艺,可以提高晶片的晶向精度、切片质量和成品率.通过碳化硅和碲锌镉晶体的切割比较新型切割装置及工艺
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2019年23期
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