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铜铟镓硒（CIGS）薄膜型太阳能电池具有高光吸收系数、高转化效率及高稳定性等优点，在太阳能电池领域受到广泛的关注。近年来，各种制备CIGS薄膜及其太阳能电池的工艺迅速发展，其利用真空共蒸发法制备的CIGS小组件的转换效率已经达到19．9％，接近多晶硅20．3％的转换效率。本文综述了真空法制备CIGS薄膜的工艺路线、薄膜结构及性能指标。