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湿度传感器有电阻和电容等类型,由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化。根据多孔A l2O3电容湿度传感器微观结构,建立了该器件的等效电路模型,利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔A l2O3湿度传感器性能的影响。根据孔深孔径的合理取值范围,通过仿真,找出孔高比与面积占空比的最佳值,提高了湿度传感器的灵敏度。