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静电自组装技术有许多优点 :工艺简单 ,能精确控制膜厚 ,每层膜厚都能控制在分子级水平 ,膜的稳定性较传统方法有较大提高 ,适用于制造大面积的薄膜器件。本文综述了静电自组装技术的特点、注意事项及其应用前景。
静电自组装技术及其应用
【摘 要】
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静电自组装技术有许多优点 :工艺简单 ,能精确控制膜厚 ,每层膜厚都能控制在分子级水平 ,膜的稳定性较传统方法有较大提高 ,适用于制造大面积的薄膜器件。本文综述了静电自组
【机 构】
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武汉理工大学光纤传感技术研究中心
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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2002年11期
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