【摘 要】
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陶瓷材料因高硬度和高耐磨性而成为很好的导轨材料,但其加工工艺性比金属材料复杂很多。对陶瓷导轨先进行研磨加工,使面型精度达到微米级,再采用机器人抛光系统对其抛亮,通过
【机 构】
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中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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陶瓷材料因高硬度和高耐磨性而成为很好的导轨材料,但其加工工艺性比金属材料复杂很多。对陶瓷导轨先进行研磨加工,使面型精度达到微米级,再采用机器人抛光系统对其抛亮,通过平面干涉仪检测其面型精度,根据检测的面型数据及特点,结合相关的抛光工艺,对陶瓷导轨进一步加工,使其达到更高的精度要求。实验过程中,陶瓷导轨面型的峰谷值从2.348 mm降低到1.844 mm,均方根由0.625 mm降低到0.394 mm,面型精度较原先得到了改善。以光学的检测手段结合相关的抛光工艺来提高陶瓷导轨机械加工的精度,结果证明该方案可
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