硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术

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介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统,可测出谐振梁的幅频和相频特性,在而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。
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