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期刊论文
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术
来源 :航空学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dys206
【摘 要】
:
介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统,可测出谐振梁的幅频和相频特性,在而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。
【作 者】
:
周浩敏
邢维巍
【机 构】
:
北京航空航天大学302教研室
【出 处】
:
航空学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
硅谐振
微传感器
开环测试
信号处理
同频干扰
silicon resonant microsensoropenloop testing signal proc
【基金项目】
:
航空科学基金,航空预研项目
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介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统,可测出谐振梁的幅频和相频特性,在而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。
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