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中国正处于快速发展阶段。MEMS也顺应时代的潮流迅速兴起。由于其制作过程要求及其精密。所以，对其几何量的测试方法要求也十分严格。在此过程中，涉及到MEMS几何量测量中的特殊测量方法。目前MEMS几何量测量的方法一般有光切、干涉、光栅投影、扫描探针等。在探索MEMS几何量测量的方法之前，应对其工作的原理及检测方法进行初步的探索和分析。这样才能更深层次地挖掘其几何量测量，法的合理性以及发展趋势。接下来便是本文，对MEMS几何量测量方法的一些探讨。