【摘 要】
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干涉仪移相器的非线性会造成测量结果的不准确，因而对移相器非线性的测量和标定十分必要。本文提出了一种运用多普勒激光干涉仪测量PZT位移并进行标定的方法，该方法操作简单、
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干涉仪移相器的非线性会造成测量结果的不准确，因而对移相器非线性的测量和标定十分必要。本文提出了一种运用多普勒激光干涉仪测量PZT位移并进行标定的方法，该方法操作简单、结果精确，可以快速得到电压值与移相值的对应关系曲线，通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整，完成移相器的精确标定。在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证，与Zygo干涉仪相比，相同元件下两者测量结果之差很小。
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