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利用XPS能谱分析结合平行成像技术，在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索，并选取了三类比较有代表性样品，通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量，获得较好的测量结果。
利用XPS平行成像技术进行材料表面微区分析
【摘 要】
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利用XPS能谱分析结合平行成像技术，在功能器件等材料微区测量方面进行了一些探索，并选取了三类比较有代表性样品，通过设计合理的方法分别对其表面微区进行了有效测量，获得较好的
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2017年5期
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