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综述了近几年ZnS薄膜材料的气相沉积制备方法及其应用，主要讨论了真空蒸发、磁控溅射、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机物化学气相沉积、原子层沉积等制备方法的最新研究进展，指出了ZnS薄膜的各种气相沉积方法的优点和不足以及今后的发展趋势。
气相法制备ZnS薄膜材料研究进展
【摘 要】
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综述了近几年ZnS薄膜材料的气相沉积制备方法及其应用，主要讨论了真空蒸发、磁控溅射、脉冲激光沉积、分子束外延、金属有机物化学气相沉积、原子层沉积等制备方法的最新研究
【机 构】
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武汉科技大学应用物理系
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
：
2013年4期
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