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介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器，通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化，设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件，给出了工艺流程和测试结果。通过实验测试证明：用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性。
静电驱动的MEMS可变电容器
【摘 要】
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介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器，通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化，设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件，给出了工艺流程
【机 构】
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厦门大学机电系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2007年2期
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