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用传统光学薄膜技术改进菲涅耳波带板
用传统光学薄膜技术改进菲涅耳波带板
来源 :杭州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yaoyao1021
【摘 要】
:
利用二元光学理论改进菲涅耳波带板,能大幅衍射效率,本文介绍利用传统的照相复制和真空镀膜技术制作位相型菲涅耳波带板的方法,指出了膜料选择和膜厚控制的依据,实测了位相台阶数
【作 者】
:
朱精敏
何伟强
赵焕东
尹行
【机 构】
:
杭州大学物理系,德清职业高中
【出 处】
:
杭州大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
菲涅耳波带板
光刻
真空蒸发
衍射效率
光学薄膜
Fresnel zone plate
photogravure
vacuum vaporization
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利用二元光学理论改进菲涅耳波带板,能大幅衍射效率,本文介绍利用传统的照相复制和真空镀膜技术制作位相型菲涅耳波带板的方法,指出了膜料选择和膜厚控制的依据,实测了位相台阶数为2时的洗射效率,为通常菲涅波带板的近4倍。
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