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0引言随着机械加工行业的不断发展，表面粗糙度测量技术也取得了长足的进步，它在机械、电子、光学等精密加工行业中的地位也显得越发重要。表面粗糙度是指加工表面上具有较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特征，其产生是由于在加工过程中，刀具与制件表面之间的摩擦、切削或压制时产生塑性变形，以及工艺系统中高频振动等因素的作用，使被加工表面产生微观几何变形。