半导体电热膜的研究

来源 :内蒙古大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chamlea
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对稀土掺杂和复合稀土氧化物半导体电热膜的制备和薄膜特性进行了研究,并和SnO2电热膜进行了研究对比,讨论了新型半导体电热膜的掺杂效应和电阻随的变化规律及导电机理。
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