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期刊论文
大规模集成电路中激光技术的运用研究
大规模集成电路中激光技术的运用研究
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:BenBenBenBen
【摘 要】
:
在大规模集成电路中,激光技术在其中发挥着重要的作用。无解除加工是激光加工的主要特征,其能量密度大,光束直径小,加工质量可靠稳定,生产效率高。因此,在大规模的集成电路中
【作 者】
:
李超
【机 构】
:
陕西省电子技术研究所
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2016年23期
【关键词】
:
大规模
集成电路
激光技术
应用研究
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在大规模集成电路中,激光技术在其中发挥着重要的作用。无解除加工是激光加工的主要特征,其能量密度大,光束直径小,加工质量可靠稳定,生产效率高。因此,在大规模的集成电路中,应该积极借鉴和应用该项技术。
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