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<正> 我厂的压缩空气系统是自行设计的,在系统总体布局和设备选型中,力求技术先进、运行可靠、便于维修、经济适用,特别是在系统节能方面采取了一些措施.现予归纳,以供探讨. 一、半导体器件生产对压缩空气的要求
节能型压缩空气系统的设计
【摘 要】
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<正> 我厂的压缩空气系统是自行设计的,在系统总体布局和设备选型中,力求技术先进、运行可靠、便于维修、经济适用,特别是在系统节能方面采取了一些措施.现予归纳,以供探讨.
【机 构】
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杭州半导体公司,杭州半导体公司310012,310012
【出 处】
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能源工程
【发表日期】
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1992年1期
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