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多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mayflysnow

【摘 要】

：

采用SPM(Sulfuric-Peroxide Mixtures,98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声(方法1)和氧等离子体+HPM(Hydrochloric/Peroxide Mixture,37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声(方法2)两种清洗

【作 者】

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邹溪 晋云霞 孔钒宇 王勇禄 张益彬 邵建达 

【机 构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院强激光材料重点实验室,中国科学院大学材料与光电研究中心,上海科技大学物质科学与技术学院

【出 处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2019年12期

【关键词】

：

多层介质膜 脉宽压缩光栅 氧等离子体 SPM HPM multilayer dielectric pulse compression grating oxyge 

【基金项目】

：

国家自然科学基金重点项目(11604352,61875212),上海市科学技术委员会(16JC1420600)

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采用SPM(Sulfuric-Peroxide Mixtures,98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声(方法1)和氧等离子体+HPM(Hydrochloric/Peroxide Mixture,37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声(方法2)两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的表面元素含量、衍射效率、表面粗糙度、表面温升以及激光损伤阈值等参数进行测量以评估两种清洗方法清洗效果。在入射角70°,脉宽12 ns,s偏振,波长1064 nm的激

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