溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变

来源 :吉林大学学报：理学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sqlwcsqlqs

【摘要】

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利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2

【作者】

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顾广瑞李哲奎林景波李全军郑伟涛赵永年

【机构】

：

延边大学,吉林大学,吉林大学

【出处】

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吉林大学学报：理学版

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

TIO2薄膜 XRD光谱金红石锐钛矿 <Keyword>TiO_2 film XRD spectrum rutile anatase

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜, 工作气压从0.2 Pa变化到2 Pa, TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相. 低于600 nm时, 厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.

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