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分别通过曲率法和基体拉伸应变测试方法研究TiO2纳米管薄膜的残余应力和脱层行为。结果表明：TiO2纳米管薄膜的内残余应力为-54 MPa。TiO2纳米管薄膜室温样、250 °C退火样和400 °C退火样的脱层出现点的应变依次为2.6%、5.1% 和8.6%，半径依次为27.5、17.1和19.4 μm。TiO2纳米管薄膜室温样、250 °C退火样和400 °C退火样的真实临界脱层应力为220.4、394.5和627.9 MPa。在脱层条件下，对界面剪滞模型进行修订，