【摘 要】
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强激光系统中，光学元件表面中频段误差会导致光学元件的丝状破坏，引起光束的高频调制和非线性自聚焦，从而影响系统工作。现阶段还没有仪器专门针对中频段误差进行测试，做出完整的分析。为解决这一问题，设计出一套高分辨率干涉仪系统，对光学元件表面中频部分实行全频段检测。采用结构简单的Fizeau干涉光路，利用光纤导出式稳频激光作为光源，采用半波片、偏振分光棱镜和1/4波片组合成偏振干涉光路，成像系统采用双远心光路设计并使用超光滑面作为标准参考平面镜，并搭建了一套实验系统。实验结果表明该系统在空间频率8.3 mm-1处
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
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强激光系统中，光学元件表面中频段误差会导致光学元件的丝状破坏，引起光束的高频调制和非线性自聚焦，从而影响系统工作。现阶段还没有仪器专门针对中频段误差进行测试，做出完整的分析。为解决这一问题，设计出一套高分辨率干涉仪系统，对光学元件表面中频部分实行全频段检测。采用结构简单的Fizeau干涉光路，利用光纤导出式稳频激光作为光源，采用半波片、偏振分光棱镜和1/4波片组合成偏振干涉光路，成像系统采用双远心光路设计并使用超光滑面作为标准参考平面镜，并搭建了一套实验系统。实验结果表明该系统在空间频率8.3 mm-1处的系统传递函数(STF)大于70%，达到中频段检测要求。
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