【摘 要】
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研究了铜互连层在化学机械平坦化(CMP)后表面残余缺陷的去除机理,并采用以碱性螯合剂(FA/OⅡ型)和非离子表面活性剂(FA/OⅠ型)为主的碱性清洗液清洗其表面,然后用缺陷检测系
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,河北工业大学微电子研究所,
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研究了铜互连层在化学机械平坦化(CMP)后表面残余缺陷的去除机理,并采用以碱性螯合剂(FA/OⅡ型)和非离子表面活性剂(FA/OⅠ型)为主的碱性清洗液清洗其表面,然后用缺陷检测系统和扫描电镜分析清洗后的表面,以检测不同浓度清洗液的清洗效果。其中螯合剂和活性剂对各种表面缺陷的去除有着不一样的功效,体积分数0.02%的FA/OⅡ型螯合剂和体积分数0.04%FA/OⅠ型活性剂混合组成的复合清洗液能够减少表面缺陷总数至724颗,使残余缺陷总数接近工业应用的要求。最后,通过原子力显微镜检测清洗后的铜表面状态,发现该复合清洗液可以很好地减小抛光后铜表面的粗糙度。
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