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MEMS麦克风厂商发展可分为3个阶段：2003年KnowlesSiSonics；2005年中期至2006年中期SonionMEMS、Akustica和MEMStech；2006年末至2007年中期Infineon、Panasonic、Yamaha和Omron四家新厂商参与该市场。
MEMS麦克风厂商现状
【摘 要】
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MEMS麦克风厂商发展可分为3个阶段：2003年KnowlesSiSonics；2005年中期至2006年中期SonionMEMS、Akustica和MEMStech；2006年末至2007年中期Infineon、Panasonic、Yamaha和Omron四
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2008年1期
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