【摘 要】
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根据太阳电池阵激光防护膜性能优化的需要，应用离子辅助电子束双源共蒸工艺方法制备了优化设计所需的特定折射率的薄膜材料并用于制备激光防护膜。测试结果显示：用该工艺方法制
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
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根据太阳电池阵激光防护膜性能优化的需要，应用离子辅助电子束双源共蒸工艺方法制备了优化设计所需的特定折射率的薄膜材料并用于制备激光防护膜。测试结果显示：用该工艺方法制备的掺杂材料薄膜的折射率n＝1.75，与优化设计所需数值相符；激光防护膜性能优良，太阳辐射能透过率提高6％以上，实现了对该激光防护膜性能的进一步优化。为了使该双源共蒸方法适于大面积薄膜的制备，应用均匀性挡板技术来提高该方法制备大面积薄膜的膜厚均匀性，使制备的掺杂材料薄膜在口径为400 mm时的不均匀性小于2.1％。该双源共蒸方法制备工艺简单、可
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