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通过对几种IC失效样品失效分析结果的展示,叙述了这些结果的内在原因及其对可靠性的影响;针对出现的失效提出了相应的控制和纠正措施。
影响IC可靠性的几个典型因素
【摘 要】
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通过对几种IC失效样品失效分析结果的展示,叙述了这些结果的内在原因及其对可靠性的影响;针对出现的失效提出了相应的控制和纠正措施。
【机 构】
：
机电部第24研究所,机电部第24研究所重庆永川632167,重庆永川632167
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
：
1992年06期
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