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,High-Mobility P-Type MOSFETs with Integrated Strained-Si0.73Ge0.27 Channels and High-κ/Metal Gates
【机 构】
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Integrated Circuit Advanced Process Center, Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Scienc
【出 处】
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中国物理快报（英文版）
【发表日期】
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2016年11期
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