共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zkhe
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采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀.这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性.对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释.
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