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介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。优越的刻蚀性能和优良的环境性能使其成为具有发展前景的下一代刻蚀气体。
六氟-1,3-丁二烯的提纯方法及应用优势
【摘 要】
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介绍了六氟-1,3-丁二烯的性质、纯化技术以及与传统含氟刻蚀气体刻蚀性能的比较。六氟-1,3-丁二烯是一种新型的电子气体,主要应用于超大规模集成电路的干法刻蚀方面。优越的
【机 构】
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浙江省化工研究院氟碳化学品研发和技术中心
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2014年06期
【基金项目】
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浙江省科技计划项目(2011F10061)
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