光学元件激光预处理技术

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国外学者用1064 nm激光对pickoff镜进行预处理,发现损伤阈值平均提高38.8%。国内研究者用CO2激光中度抛光后,熔石英基片的损伤阈值提到了30%左右,激光波长、扫描方式等对处理效果影响也比较明显。介绍了三种公认的预处理机制,将离线与在线处理方式做了简单地比较,并对国内外激光预处理技术的发展和前景进行了展望。 Foreign scholars using 1064 nm laser pretreatment pickoff mirror and found that the average damage threshold increased by 38.8%. Domestic researchers using CO2 laser moderate polishing, fused quartz substrate damage threshold mentioned about 30%, laser wavelength, scanning mode, etc. on the treatment effect is also more obvious. Three accepted preprocessing mechanisms are introduced. The offline and online processing methods are simply compared, and the development and prospect of laser pretreatment technology both at home and abroad are prospected.
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