氩离子辅助沉积生物玻璃陶瓷膜的结构和特性研究

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用XRD、FTIR、XPS和EDAX等分析方法对 60keV、剂量为 7× 10 15ions/cm2 的Ar+ 离子束在钛合金表面辅助沉积的生物玻璃陶瓷 (BGC)膜进行表征。发现膜呈非晶 ;膜中Ca P比高达 3 .68,高于BGC原材料的Ca P比 1.3 0 ;沉积膜中出现C和O的污染 ,并引入了碳酸根基团 (CO3 -2 )。实验发现 ,BGC膜与Ti合金结合十分牢固 ;在 0 .9%的盐溶液中浸泡Ca+ + 离子的溶解性与辅助剂量密切相关 ;这种Ar+ 离子辅助沉积的膜在Hanks溶液中的抗溶解特性 ,未退火的膜远优于退火的膜 ,也优于Ti合金。文中对观察到的现象进行了讨论。 The glass-ceramic (BGC) films deposited on the surface of titanium alloy were characterized by XRD, FTIR, XPS and EDAX. The 60keV, 7 × 10 15ions / cm2 Ar + The films were amorphous. The CaP ratio in the film was as high as 3.68, which was higher than that of the BGC raw material. The CaP ratio was 1.3 0. The C and O contamination occurred in the deposited film and the carbonate group (CO 3 -2) was introduced. It was found that the binding of BGC film to Ti alloy was very firm. The solubility of Ca + + ions in 0.9% saline solution was closely related to the adjuvant dose. The anti-dissolution properties of the film supported by Ar + ions in Hanks solution , The unannealed film is far superior to the annealed film and also superior to the Ti alloy. The article observed the phenomenon was discussed.
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