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智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.
MEMS与智能化微系统
【摘 要】
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智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.
【机 构】
：
中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年1期
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