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研究了用电感耦合等离子体质谱（ICP—MS）测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法．在最佳仪器条件下，通过选择合适的吸收液与测定同位素、采用Sc作为内标以及碰撞池技术，避免了基体效应以及多原子离子对测定的干扰．方法简单、灵敏度高，对高纯气体的质量监控有指导意义．
电感耦合等离子体质谱法测定高纯气体中痕量铝、磷、硼
【摘 要】
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研究了用电感耦合等离子体质谱（ICP—MS）测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法．在最佳仪器条件下，通过选择合适的吸收液与测定同位素、采用Sc作为内标以及碰撞池技
【机 构】
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河南省科学院高新技术研究中心,江西理工大学
【出 处】
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河南科学
【发表日期】
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2013年10期
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