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氧化锌薄膜体声波谐振器制作重复性和均匀性

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cool_face

【作 者】

：

陈熙 段力 翁昊天 付学成 杨志 张亚非 刘千慧 陈益钢 高明 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2019年11期

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