PREPARATION OF LN2 TEMPERATURE REGION SUPERCONDUCTOR FILM ON Si（100） SUBSTRAT

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【摘要】

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Expermental results of the preparation of YBaCuO superconductor thin film on Si（100）substrate by the method of ion beam sputtering deposition is presented.A ZrO<s

【出处】

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金属学报：英文版

【发表日期】

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1989年12期

【关键词】

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SUPERCONDUCTOR YBACUO thin FILM Si SUBSTRATE

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Expermental results of the preparation of YBaCuO superconductor thin film on Si（100）substrate by the method of ion beam sputtering deposition is presented.A ZrO2 buffer layerwas applied to Si（100）substrate,and was found to play an i

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