【摘 要】
:
随着半导体制造工业的迅速发展,微光刻与微加工技术作为其"核心工艺"已经成为目前高校科学研究和工业研发的一个热门领域。它主要包括图形数据处理技术、图形曝光技术和图形
【机 构】
:
兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室
论文部分内容阅读
随着半导体制造工业的迅速发展,微光刻与微加工技术作为其"核心工艺"已经成为目前高校科学研究和工业研发的一个热门领域。它主要包括图形数据处理技术、图形曝光技术和图形加工技术。介绍了微光刻与微加工技术的基本工艺流程,讨论和分析了影响图形加工质量的工艺参数和主要因素,以及需要注意的关键事项和常见问题的解决方法。结合本实验室的工作,通过实验探索和工艺流程的优化,确定了光刻胶Futurres PR1-1000A型的最佳光刻工艺参数。
其他文献
法制现代化是当下中国的时代课题。法制现代化从根本上说是人文精神的现代化 ,因而法制现代化应以人为中心、以人的幸福自由生活为终极关怀的现代化 ,其现实关切应当是权利至
社会经济、文化的快速发展,人们的思想观念也发生了很大转变。在现代园林建设、管理中,园林职工的思想政治工作也非常重要。做好园林职工思想政治工作,才能使园林建设得更好
在医学基础学科中,学生普遍认为生物化学的难度最大。如果在学习中不能深刻理解、融会贯通,即便把整本书背下来,也无济于事。生物氧化是生物化学中的难点章节,为使学生理解重点、
<正> 沿岸输沙率的计算对于海岸的冲刷淤积研究至关重要。工程上得到的实测波浪资料一般是水深较大处的十分之一大波波高、平均波周期与平均波向角。用什么特征波要素来推求
新型口服固体速释制剂—口腔崩解片以其在口腔内迅速崩解、起效快、生物利用度高、服用方便等特点受到了越来越多的药学工作者的关注,而且在很大程度上解决了老人、儿童等其
收集湖北省蝶类已知种类进行区系分析,与邻近的江西、湖南和河南三省蝶类区系进行比较,以研究湖北省蝶类区系组成和地理分布.湖北省已知蝶类478种,隶属12科198属,其中东洋界
市场竞争的日趋激烈,对于电力企业的管理水平提出了更高的要求,作为企业管理的重要组成部分,人力资源管理受到了越来越多的重视。但是当前,电力企业在人力资源管理中,存在着
苍山铁矿围岩与矿体均属于坚硬到极坚硬岩石,在掘进过程中存在难爆破等现象。前期掘进中炮眼参数和炸药量采用不当,使得超挖欠挖的现象十分严重。为了解决这一问题,通过理论
预算执行的不均衡问题是企业预算管理中普遍并且长期存在的问题。文章以查找年度预算执行不均衡原因为主线,重点分析企业预算管理过程中存在的主要问题,并结合电网企业的实际