【摘 要】
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集成电路作为整机装备的重要组成部分,其可靠性是一项非常重要的指标.运用实际的失效案例,采用SEM/EDS/显微红外光谱分析/热重分析和TOF-SIMS等失效分析方法,在分析集成电路
【机 构】
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陆军装备部驻洛阳地区航空军事代表室,中国电子科技集团公司第二十四研究所
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集成电路作为整机装备的重要组成部分,其可靠性是一项非常重要的指标.运用实际的失效案例,采用SEM/EDS/显微红外光谱分析/热重分析和TOF-SIMS等失效分析方法,在分析集成电路失效现象与定位故障原因的基础上,研究环境中沾污对集成电路原材料外壳可靠性的影响,并提出了外壳贮存的保障措施,对于提升原材料的使用可靠性具有重要的意义.
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