用电容法测量微振动位移

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木文介绍了微振动位移非接触测量的电容法,讨论了方法的原理,测量电子学和有关的技术问题.测量中采用小尺寸的电容位移探测头,同样获得了高的灵敏度,精密的滤波技术,使得所测振动的上限频率达7kHz.实验结果证明,这一方法是可靠的. Mu Wen introduced the non-contact measurement of micro vibration displacement capacitance method, discusses the principle of the method, the measurement of electronics and related technical issues. The measurement uses a small capacitance displacement probe, also obtained high sensitivity, sophisticated filtering technology, making the upper limit of the measured vibration frequency of 7kHz. Experimental results show that this method is reliable.
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