【摘 要】
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本文讨论在1.0±0.05g/min的沉积速率下PCVD工艺中的热迁移效应,以及它对工艺及产品质量的影响。
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本文讨论在1.0±0.05g/min的沉积速率下PCVD工艺中的热迁移效应,以及它对工艺及产品质量的影响。
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