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阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析.
6328(A)全反射介质膜真空镀膜工艺探讨
【摘 要】
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阐述了6328(A)全反射介质膜的镀膜原理和实际镀膜工艺,分析了镀膜后必须进行固膜的原因,并给出了镀制6328全反射介质膜的蒸镀参数和经过固膜后的测量结果分析.
【机 构】
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河北理工大学轻工学院,河北,唐山,063020
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2004年5期
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