一种新型微加工交直流电场传感器设计

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aileenliuwei

【摘要】

：

提出一种灵敏度和测量范围可调的交流/直流电场传感器设计方案。该传感器采用绝缘体微加工工艺制造,由微弹簧支撑的金属膜组成,其工作原理为金属膜在入射电场作用下产生位移,并由光电探测器检测相应的输出电流差值。该传感器与传统电场传感器不同,无需旋转部件,避免了相关的磨损和维护等问题。利用激光位置监测系统实现了高灵敏度监测,通过对入射电场在传感膜上施加偏置电压进行调制,使传感器的测量范围从V/m到MV/m。

【作者】

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朱莎曾晗王师奇付震东

【机构】

：

国家电网江西电力有限公司检修分公司,华东交通大学电气与自动化工程学院

【出处】

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仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2021年06期

【关键词】

：

电场测量微加工交直流电场传感器高灵敏度绝缘体工艺光电探测器

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51867010),江西省重点研发计划项目(20181BBE50019,20181BBE50009)。

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